液晶与显示2019，Vol.34Issue(8)：755-763,9.DOI:10.3788/YJYXS20193408.0755
激光化学气相沉积法在TFT-LCD电路缺陷维修中的应用
Application of laser chemical vapor deposition in repairing TFT-LCD circuit defects
张伟 1陈小英 1马永生 2付婉霞 1王磊 1周贺 1徐智俊 1王博 1阮毅松1
作者信息
- 1. 福州京东方光电科技有限公司 ,福建 福州 350300
- 2. 北京京东方传感技术有限公司 ,北京 100176
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摘要
关键词
TFT-LCD/激光化学气相沉积法/缺陷维修/W(CO)6/电阻率分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张伟,陈小英,马永生,付婉霞,王磊,周贺,徐智俊,王博,阮毅松..激光化学气相沉积法在TFT-LCD电路缺陷维修中的应用[J].液晶与显示,2019,34(8):755-763,9.
