吉林大学学报（信息科学版）2019，Vol.37Issue(5)：507-511,5.
四探针法测试半导体掺杂浓度的实验研究
Research of Four-Probe Method for Semiconductor Doping Concentration Experiment
摘要
关键词
四探针测量法/电阻率/掺杂浓度分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王蕊,牛立刚,贺媛,李昕,纪永成,郭文滨..四探针法测试半导体掺杂浓度的实验研究[J].吉林大学学报（信息科学版）,2019,37(5):507-511,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(61674066 （）
61875072) （）
