红外技术2019，Vol.41Issue(10)：902-907,6.
离子束溅射Al2O3薄膜及其在蓝宝石窗口中的应用
Ion Beam Sputtering Alumina Film and Application in Sapphire Optical Windows
摘要
关键词
离子束溅射/Al2O3薄膜/光学窗口/环境适应性分类
数理科学引用本文复制引用
米高园,杨崇民,张建付,王松林,刘青龙,朱筱群,李明伟..离子束溅射Al2O3薄膜及其在蓝宝石窗口中的应用[J].红外技术,2019,41(10):902-907,6.基金项目
国防基础科研计划资助. （）
