徐州工程学院学报（自然科学版）2019，Vol.34Issue(3)：1-6,6.
硅单晶圆片中V-O2对演变的相场仿真模型
Simulation Model for V-O2 Pair's Evolution in Silicon Monocrystalline Wafer Based on Phase Field Theory
摘要
关键词
仿真/硅单晶圆片/V-O2对/建模/相场理论分类
矿业与冶金引用本文复制引用
关小军,关宇昕,王善文..硅单晶圆片中V-O2对演变的相场仿真模型[J].徐州工程学院学报（自然科学版）,2019,34(3):1-6,6.基金项目
高等学校博士学科点专项科研基金项目(200804220021) （200804220021）
山东大学晶体材料国家重点实验室开放课题(KF1303) （KF1303）
