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柔性压力传感器温度漂移补偿结构设计

聂萌 陈佳琦 徐峰

传感技术学报2019,Vol.32Issue(10):1443-1446,1466,5.
传感技术学报2019,Vol.32Issue(10):1443-1446,1466,5.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2019.10.001

柔性压力传感器温度漂移补偿结构设计

A Temperature Drift Compensation Structure Design of Flexible Pressure Sensor

聂萌 1陈佳琦 1徐峰1

作者信息

  • 1. 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京210096
  • 折叠

摘要

关键词

柔性电子/压阻传感器/温度漂移/热膨胀系数

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

聂萌,陈佳琦,徐峰..柔性压力传感器温度漂移补偿结构设计[J].传感技术学报,2019,32(10):1443-1446,1466,5.

基金项目

国家自然科学基金项目(11774051,61574034,61474023) (11774051,61574034,61474023)

中央高校基本科研业务费专项资金项目(2242019k1G012) (2242019k1G012)

中国博士后基金项目( 2014M550259,2015T80480) ( 2014M550259,2015T80480)

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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