传感技术学报2019，Vol.32Issue(10)：1447-1450,4.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2019.10.002
基于铟钢的单层膜平面反射式计量圆光栅的制作
Fabrication of Monolayer Film Plane Reflecting Metrology Circular Grating on Invar
摘要
关键词
基片/铟钢/平面反射式/计量圆光栅/真空镀膜分类
矿业与冶金引用本文复制引用
陈赟,高胜英,张晰,韩庆阳..基于铟钢的单层膜平面反射式计量圆光栅的制作[J].传感技术学报,2019,32(10):1447-1450,4.基金项目
基于光栅精密位移感知系统的地震预警终端研制项目( 20190303019SF) （ 20190303019SF）
