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基于质量刚度解耦的三波腹嵌套环MEMS陀螺结构优化设计

高凯李青松张勇猛路阔王鹏许一李斌肖定邦

传感技术学报2019，Vol.32Issue(10)：1451-1456,6.

传感技术学报2019，Vol.32Issue(10)：1451-1456,6.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2019.10.003

Structural Optimization Design of Third-Antinode Nesting Ring MEMS Gyro Based on Mass-Stiffness Decoupling

高凯 ¹李青松 ¹张勇猛 ¹路阔 ¹王鹏 ¹许一 ¹李斌 ¹肖定邦¹

作者信息

嵌套环陀螺/性能优化/质量刚度解耦/灵敏度/热噪声

信息技术与安全科学

高凯,李青松,张勇猛,路阔,王鹏,许一,李斌,肖定邦..基于质量刚度解耦的三波腹嵌套环MEMS陀螺结构优化设计[J].传感技术学报,2019,32(10):1451-1456,6.

国家自然科学基金项目( 51575521) （ 51575521）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1004-1699

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