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基于DE-SVM的硅基压阻式压力传感器温度补偿研究

文常保 王蒙 钟晨昊 宿建斌 巨永锋

传感技术学报2019,Vol.32Issue(10):1493-1498,6.
传感技术学报2019,Vol.32Issue(10):1493-1498,6.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2019.10.011

基于DE-SVM的硅基压阻式压力传感器温度补偿研究

Research on Temperature Compensation of Silicon based Piezoresistive Pressure Sensor based on DE-SVM

文常保 1王蒙 1钟晨昊 1宿建斌 1巨永锋1

作者信息

  • 1. 长安大学电子与控制工程学院 微纳电子研究所,西安710064
  • 折叠

摘要

关键词

检测技术/温度补偿/DE-SVM/硅基材料/压阻式压力传感器

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

文常保,王蒙,钟晨昊,宿建斌,巨永锋..基于DE-SVM的硅基压阻式压力传感器温度补偿研究[J].传感技术学报,2019,32(10):1493-1498,6.

基金项目

国家自然科学基金项目(60806043) (60806043)

陕西省自然科学基础研究计划项目(2018JQ6056,2018XNCG-G-01) (2018JQ6056,2018XNCG-G-01)

中央高校教育教学改革专项经费项目( 300103187051,300104283215,300103002076) ( 300103187051,300104283215,300103002076)

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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