丽水学院学报2019，Vol.41Issue(5)：16-21,6.DOI:10.3969/j.issn.2095-3801.2019.05.004
DOE实验设计开发高效的光刻胶剥离液
Experimental Design and Development of High Efficiency Photoresist Stripper by DOE
杨志锋 1王翔 2王旭3
作者信息
- 1. 西陇科学股份有限公司,广东 汕头 515064
- 2. 南京江宁高等职业技术学校,江苏 南京 210019
- 3. 丽水学院 生态学院,浙江 丽水 323000
- 折叠
摘要
关键词
实验设计/混料试验/光刻胶/剥离液分类
化学化工引用本文复制引用
杨志锋,王翔,王旭..DOE实验设计开发高效的光刻胶剥离液[J].丽水学院学报,2019,41(5):16-21,6.
