材料科学与工程学报2019，Vol.37Issue(5)：823-827,5.DOI:10.14136/j.cnki.issn1673-2812.2019.05.024
Cr薄膜沉积速率对AlGaInP发光二极管电压的影响
Effect of Cr Film Deposition Rate on Forward Voltage of AlGaInP Light-emitting
肖和平 1朱迪1
作者信息
- 1. 扬州乾照光电有限公司,江苏 扬州 225101
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摘要
关键词
薄膜沉积速率/金属薄膜/晶粒尺寸/残余应力/正向电压分类
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肖和平,朱迪..Cr薄膜沉积速率对AlGaInP发光二极管电压的影响[J].材料科学与工程学报,2019,37(5):823-827,5.
