光学精密工程2019，Vol.27Issue(10)：2097-2104,8.DOI:10.3788/OPE.20192710.2097
全视场外差干涉三维测量系统
Three-dimensional measurement system based on full-field heterodyne interferometry
摘要
关键词
三维测量/全视场外差/声光移频/相位高度映射分类
数理科学引用本文复制引用
尚万祺,张文喜,伍洲,李杨,孔新新..全视场外差干涉三维测量系统[J].光学精密工程,2019,27(10):2097-2104,8.基金项目
国家自然科学基金青年科学基金资助项目(No.61605217) （No.61605217）
中国科学院青年创新促进会资助项目(No.2015127) （No.2015127）
