光学精密工程2019，Vol.27Issue(10)：2154-2164,11.DOI:10.3788/OPE.20192710.2154
透射光栅位移传感器中光栅副Yaw向夹角误差的影响和监测
Influence and monitoring of yaw angle error of grating pair in transmission grating displacement sensor
摘要
关键词
透射光栅/夹角误差/利萨如图形/误差修正/离心率分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王笑一,户璐卿,雷贤卿,左孝林,王永军,郭阳阳..透射光栅位移传感器中光栅副Yaw向夹角误差的影响和监测[J].光学精密工程,2019,27(10):2154-2164,11.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.51775172) （No.51775172）
