光学精密工程2019，Vol.27Issue(10)：2207-2214,8.DOI:10.3788/OPE.20192710.2207
小型精密谐波转台角度定位精度标定与补偿
Calibration and compensation of small precision harmonic turntable
摘要
关键词
双频激光干涉仪/360°标定/小型谐波转台分类
通用工业技术引用本文复制引用
吴斌,王航,康杰虎..小型精密谐波转台角度定位精度标定与补偿[J].光学精密工程,2019,27(10):2207-2214,8.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.61771336) （No.61771336）
天津市自然科学基金资助项目(No.18JCZD38600) （No.18JCZD38600）
