金刚石与磨料磨具工程2019，Vol.39Issue(5)：57-66,10.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2019.5.0011
砷化镓衬底加工技术研究及其新发展
Research and new development of GaAs substrate fabrication technology
摘要
关键词
砷化镓/研磨/化学机械抛光/表面完整性/磨削分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
罗斌,阎秋生..砷化镓衬底加工技术研究及其新发展[J].金刚石与磨料磨具工程,2019,39(5):57-66,10.基金项目
NSFC-广东联合基金(U180120098). （U180120098）
