机电工程技术2019，Vol.48Issue(9)：35-37,3.DOI:10.3969/j.issn.1009-9492.2019.09.012
各向异性湿法刻蚀中刻蚀温度对硅尖形貌的影响
Effect of Etching Temperature on the Shape of Silicon Tip in Anisotropic Wet Etching
摘要
关键词
单晶硅/针尖/各向异性刻蚀分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张小辉,胡亚明,梁军生,宿世界,王大志..各向异性湿法刻蚀中刻蚀温度对硅尖形貌的影响[J].机电工程技术,2019,48(9):35-37,3.基金项目
国家自然科学基金资助项目(编号:51675085 （）
51475081) （）
