南京大学学报(自然科学版)2019,Vol.55Issue(5):740-749,10.DOI:10.13232/j.cnki.jnju.2019.05.005
栅介质材料及尺寸对薄膜晶体管性能影响研究
Investigation on the influence of gate dielectric material and size on thin-film transistors performance
摘要
关键词
薄膜晶体管/高介电常数/栅介质材料/栅介质尺寸分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
裴智慧,秦国轩..栅介质材料及尺寸对薄膜晶体管性能影响研究[J].南京大学学报(自然科学版),2019,55(5):740-749,10.基金项目
国家自然科学基金(61871285),天津市自然科学基金(18JCYBJC15900) (61871285)