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栅介质材料及尺寸对薄膜晶体管性能影响研究

裴智慧 秦国轩

南京大学学报(自然科学版)2019,Vol.55Issue(5):740-749,10.
南京大学学报(自然科学版)2019,Vol.55Issue(5):740-749,10.DOI:10.13232/j.cnki.jnju.2019.05.005

栅介质材料及尺寸对薄膜晶体管性能影响研究

Investigation on the influence of gate dielectric material and size on thin-film transistors performance

裴智慧 1秦国轩2

作者信息

  • 1. 天津大学微电子学院,天津,300072
  • 2. 天津市成像与感知微电子技术重点实验室,天津,300072
  • 折叠

摘要

关键词

薄膜晶体管/高介电常数/栅介质材料/栅介质尺寸

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

裴智慧,秦国轩..栅介质材料及尺寸对薄膜晶体管性能影响研究[J].南京大学学报(自然科学版),2019,55(5):740-749,10.

基金项目

国家自然科学基金(61871285),天津市自然科学基金(18JCYBJC15900) (61871285)

南京大学学报(自然科学版)

OACSCDCSTPCD

0469-5097

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