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PS光阻顶部凹陷问题研究

张宇 陈珍霞 侯伟康 陈黎暄

液晶与显示2019,Vol.34Issue(10):977-981,5.
液晶与显示2019,Vol.34Issue(10):977-981,5.DOI:10.3788/YJYXS20193410.0977

PS光阻顶部凹陷问题研究

Study on the top concave of PS photoresistor

张宇 1陈珍霞 1侯伟康 1陈黎暄1

作者信息

  • 1. 深圳市华星光电技术有限公司,广东深圳518132
  • 折叠

摘要

关键词

液晶显示器/分辨率/光阻/顶部/凹陷/高斯分布

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张宇,陈珍霞,侯伟康,陈黎暄..PS光阻顶部凹陷问题研究[J].液晶与显示,2019,34(10):977-981,5.

液晶与显示

OA北大核心CSCDCSTPCD

1007-2780

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