云南冶金2019,Vol.48Issue(5):65-71,7.
软轴单晶炉晶体生长的固有干扰因素分析
Analysis on Intrinsic Interference Factors for Crystal Growth of Flexible Shaft Single Crystal Furnace
张志坚 1池蓉 2罗凤灵1
作者信息
- 1. 云南云芯硅材股份有限公司,云南曲靖655000
- 2. 云南科力新材料股份有限公司,云南昆明650051
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张志坚,池蓉,罗凤灵..软轴单晶炉晶体生长的固有干扰因素分析[J].云南冶金,2019,48(5):65-71,7.