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线面式电容传感器结构设计与传感特性研究

曾涛 鲁云峰 张钟华 陈乐 许素安

计量学报2019，Vol.40Issue(6)：941-945,5.
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计量学报2019，Vol.40Issue(6)：941-945,5.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2019.06.01

线面式电容传感器结构设计与传感特性研究

Research in the Structure Design and Sensing Characteristics of the Filament-surface Capacitive Sensor

曾涛 1鲁云峰 2张钟华 3陈乐 2许素安3

作者信息

  • 1. 中国计量大学机电工程学院,浙江杭州310018
  • 2. 中国计量科学研究院,北京100029
  • 3. 国家市场监督管理总局电学量子基准重点实验室,北京100029
  • 折叠

摘要

关键词

计量学/线面式电容传感器/传感特性/运动方向检测/垂向参考

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

曾涛,鲁云峰,张钟华,陈乐,许素安..线面式电容传感器结构设计与传感特性研究[J].计量学报,2019,40(6):941-945,5.

基金项目

国家重点研发计划(2016YFF0200102) （2016YFF0200102）

计量学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-1158

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