计量学报2019，Vol.40Issue(6)：975-979,5.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2019.06.06
温度条件对大尺寸测量装置精度影响的研究
Study of Temperature States Influence on the Accuracy of Large Size Measuring Devices
摘要
关键词
计量学/大尺寸测量装置/激光干涉仪/折射率补偿/温度条件/测量精度分类
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李婷,李建双,缪东晶,李连福,刘学德..温度条件对大尺寸测量装置精度影响的研究[J].计量学报,2019,40(6):975-979,5.基金项目
国家重点研发计划(2017YFF0206305) （2017YFF0206305）
中国计量科学研究院基本科研业务项目(24-AKY1701) （24-AKY1701）
