机械与电子2019，Vol.37Issue(11)：25-29,5.
U型电热微驱动器温度分布方程模型
U-shape Electrothermal Micro-actuator Temperature Distribution Equation Model
赵海龙 1王新杰1
作者信息
- 1. 南京理工大学机械工程学院,江苏南京210094
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摘要
关键词
MEMS/微驱动器/U型梁/温度分布方程分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
赵海龙,王新杰..U型电热微驱动器温度分布方程模型[J].机械与电子,2019,37(11):25-29,5.
