真空电子技术Issue(5)：47-52,6.DOI:10.16540/j.cnki.cnll-2485/tn.2019.05.09
一种分子泵除气系统断电保护及高真空保持技术
A Power-off Protection and Vacuum Maintenance Technique for Molecular Pump Degassing System
摘要
关键词
分子泵/怠速除气/高真空保持分类
通用工业技术引用本文复制引用
蔡易平,文霞,王栋,胡孟春..一种分子泵除气系统断电保护及高真空保持技术[J].真空电子技术,2019,(5):47-52,6.基金项目
中国工程物理研究院专项课题(902-301) （902-301）
