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碳氧化硅过渡层对玻璃基DLC薄膜性能的影响

常潇 赵青南 王晓宏 陆文涛 董玉红 赵杰

硅酸盐通报2019，Vol.38Issue(10)：3033-3039,7.
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硅酸盐通报2019，Vol.38Issue(10)：3033-3039,7.

碳氧化硅过渡层对玻璃基DLC薄膜性能的影响

Effects of Silicon Oxycarbide Transition Layer on Properties of DLC Films on Glass Substrates

常潇 1赵青南 1王晓宏 2陆文涛 1董玉红 1赵杰2

作者信息

  • 1. 武汉理工大学硅酸盐建筑材料国家重点实验室,武汉430070
  • 2. 江苏秀强玻璃工艺股份有限公司,宿迁223800
  • 折叠

摘要

关键词

DLC薄膜/硬度/沉积时间/碳氧化硅过渡层/平均透过率

分类

数理科学

引用本文复制引用

常潇,赵青南,王晓宏,陆文涛,董玉红,赵杰..碳氧化硅过渡层对玻璃基DLC薄膜性能的影响[J].硅酸盐通报,2019,38(10):3033-3039,7.

基金项目

国家十三五重点研发计划子课题(2016YFB0303903-04) （2016YFB0303903-04）

硅酸盐通报

OA北大核心CSTPCD

1001-1625

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