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CVD样品台旋转对沉积金刚石涂层的影响

邓福铭 薄祥 许晨阳 郝岑 王双 郭振海 解亚娟

人工晶体学报2019，Vol.48Issue(10)：1879-1885,7.
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人工晶体学报2019，Vol.48Issue(10)：1879-1885,7.

CVD样品台旋转对沉积金刚石涂层的影响

Effect of Sample Rotation on Chemical Vapor Deposition Diamond Coatings

邓福铭 1薄祥 2许晨阳 1郝岑 1王双 1郭振海 1解亚娟1

作者信息

  • 1. 中国矿业大学(北京)机电与信息工程学院,北京100083
  • 2. 中国矿业大学(北京)超硬刀具材料研究所,北京100083
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摘要

关键词

热丝化学气相沉积/金刚石涂层/硬质合金基体/样品台/旋转频率

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

邓福铭,薄祥,许晨阳,郝岑,王双,郭振海,解亚娟..CVD样品台旋转对沉积金刚石涂层的影响[J].人工晶体学报,2019,48(10):1879-1885,7.

基金项目

北京市自然科学联合基金(15L00025) （15L00025）

国家自然科学基金(51172278) （51172278）

北京市财政共建项目(2017-03) （2017-03）

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

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