测试技术学报2019，Vol.33Issue(6)：520-523,546,5.DOI:10.3969/j.issn.1671-7449.2019.06.013
一种压电式MEMS矢量水听器设计
Design of a Piezoelectric MEMS Vector Hydrophone
摘要
关键词
微机电系统/矢量水听器/压电效应/声源定向/频带分类
通用工业技术引用本文复制引用
刘林仙,王朝阳,马奎..一种压电式MEMS矢量水听器设计[J].测试技术学报,2019,33(6):520-523,546,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(61603231) （61603231）
山西省应用基础研究资助项目(201801D221166,201801D221172) （201801D221166,201801D221172）
山西省高等学校科技创新资助项目(2019L0068) （2019L0068）
