数字技术与应用2019，Vol.37Issue(10)：171-172,2.DOI:10.19695/j.cnki.cn12-1369.2019.10.94
一种三维纳米定位台控制系统设计
A Nano-Positioning Stage Control System Design
何坚 1夏宏 1颜锦耀 2范贤光1
作者信息
- 1. 厦门大学航空航天学院,福建厦门 361102
- 2. 泉州信息工程学院电子信息工程系,福建泉州 362000
- 折叠
摘要
关键词
控制系统/纳米定位/ARM/FPGA分类
机械制造引用本文复制引用
何坚,夏宏,颜锦耀,范贤光..一种三维纳米定位台控制系统设计[J].数字技术与应用,2019,37(10):171-172,2.
