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基于聚焦离子束纳米剪纸/折纸形变的三维微纳制造技术及其光学应用

陈珊珊 刘幸 刘之光 李家方

物理学报2019，Vol.68Issue(24)：1-19,19.
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物理学报2019，Vol.68Issue(24)：1-19,19.DOI:10.7498/aps.68.20191494

基于聚焦离子束纳米剪纸/折纸形变的三维微纳制造技术及其光学应用

Focused ion beam based nano-kirigami/origami for three-dimensional micro/nanomanufacturing and photonic applications

陈珊珊 1刘幸 1刘之光 2李家方1

作者信息

  • 1. 北京理工大学物理学院,教育部先进光电量子结构设计与测量重点实验室,北京市纳米光子学与超精密光电系统重点实验室,北京100081
  • 2. 中国科学院物理研究所光物理重点实验室,北京100190
  • 折叠

摘要

关键词

三维微纳制造/纳米剪纸/聚焦离子束/光学手性

引用本文复制引用

陈珊珊,刘幸,刘之光,李家方..基于聚焦离子束纳米剪纸/折纸形变的三维微纳制造技术及其光学应用[J].物理学报,2019,68(24):1-19,19.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:61675227,61975016)和国家重点研发计划(批准号:2017YFA0303800)资助的课题. （批准号:61675227,61975016）

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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