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衬底温度对钛镁掺杂氧化锌薄膜光学性能的影响

钟志有 朱雅 龙浩 王皓宁

中南民族大学学报(自然科学版)2019,Vol.38Issue(4):566-571,6.
中南民族大学学报(自然科学版)2019,Vol.38Issue(4):566-571,6.DOI:10.12130/znmdzk.20190416

衬底温度对钛镁掺杂氧化锌薄膜光学性能的影响

Influence of substrate temperature on optical properties of titanium and magnesium doped ZnO thin films

钟志有 1朱雅 1龙浩 1王皓宁1

作者信息

  • 1. 中南民族大学 电子信息工程学院,智能无线通信湖北省重点实验室,武汉430074
  • 折叠

摘要

关键词

掺杂氧化锌/薄膜/磁控溅射/光学性质

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

钟志有,朱雅,龙浩,王皓宁..衬底温度对钛镁掺杂氧化锌薄膜光学性能的影响[J].中南民族大学学报(自然科学版),2019,38(4):566-571,6.

基金项目

湖北省自然科学基金资助项目( 2011CDB418) ( 2011CDB418)

中南民族大学学报(自然科学版)

OACSTPCD

1672-4321

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