材料科学与工程学报2019，Vol.37Issue(6)：867-870,4.DOI:10.14136/j.cnki.issn1673-2812.2019.06.002
金刚线切割多晶硅片表面减反射绒面的制备
Preparation of Anti-reflection Texture on Surface of Diamond-wire-sawing Multi-crystalline Silicon Wafers
摘要
关键词
金刚线切割多晶硅片/减反射/线痕/酸雾腐蚀分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘友博,李利凯,汪雷,杨德仁..金刚线切割多晶硅片表面减反射绒面的制备[J].材料科学与工程学报,2019,37(6):867-870,4.基金项目
浙江省重点研发计划资助项目(2018C01034),国家重点研发计划资助项目(2018YFB1500300),国家自然科学基金资助项目(51532007,61721005),中央高校基本科研业务费专项基金资助项目(2017FZA4005) （2018C01034）
