材料科学与工程学报2019，Vol.37Issue(6)：871-875,966,6.DOI:10.14136/j.cnki.issn1673-2812.2019.06.003
衬底温度对脉冲激光沉积多晶锗薄膜的影响
Effect of Substrate Temperature on Deposition of Polycrystalline Germanium Thin Films by Pulsed Laser
摘要
关键词
脉冲激光沉积/多晶锗/退火处理分类
化学化工引用本文复制引用
李俊丽,周建,刘桂珍..衬底温度对脉冲激光沉积多晶锗薄膜的影响[J].材料科学与工程学报,2019,37(6):871-875,966,6.基金项目
湖北省科技支撑计划资助项目(2013BKB006),中山市重大科技专项资助项目(2014A2FC222) （2013BKB006）
