电子器件2019，Vol.42Issue(6)：1371-1377,7.DOI:10.3969/j.issn.1005-9490.2019.06.005
新型硅压阻式压力传感器的设计、 制作与性能补偿研究
Research on Design,Fabrication and Performance Compensation of Novel Silicon Piezoresistive Pressure Sensor
摘要
关键词
MEMS压阻式压力传感器/灵敏度/有限元分析/非线性校正/迟滞误差补偿分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王银,张加宏,李敏,陈虎,冒晓莉..新型硅压阻式压力传感器的设计、 制作与性能补偿研究[J].电子器件,2019,42(6):1371-1377,7.基金项目
国家自然科学基金项目(61306138,41605120) （61306138,41605120）
江苏高校品牌专业建设工程项目(TAPP) （TAPP）
江苏省高等学校大学生实践创新训练计划项目( 201710300021Z) （ 201710300021Z）
