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MOCVD反应室无镓无铝环境的获得及重要性分析

杨超普 方文卿 刘明宝 毛清华 阳帆

人工晶体学报2019，Vol.48Issue(11)：2032-2037,2061,7.
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人工晶体学报2019，Vol.48Issue(11)：2032-2037,2061,7.

MOCVD反应室无镓无铝环境的获得及重要性分析

Acquirement and Significance Analysis of No Gallium and No Aluminum Environment of MOCVD Reactor

杨超普 1方文卿 2刘明宝 3毛清华 2阳帆4

作者信息

  • 1. 商洛学院化学工程与现代材料学院,商洛726000
  • 2. 南昌大学材料科学与工程学院,南昌330031
  • 3. 商洛学院,陕西省尾矿资源综合利用重点实验室,商洛726000
  • 4. 南昌大学,国家硅基LED工程技术研究中心,南昌330047
  • 折叠

摘要

关键词

MOCVD/GaN基LED/外延/AlN/Si

分类

数理科学

引用本文复制引用

杨超普,方文卿,刘明宝,毛清华,阳帆..MOCVD反应室无镓无铝环境的获得及重要性分析[J].人工晶体学报,2019,48(11):2032-2037,2061,7.

基金项目

国家自然科学基金(61864008) （61864008）

国家重点研发计划(2017YFB0403700) （2017YFB0403700）

安徽省自然科学面上基金(1808085MF205) （1808085MF205）

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

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