无机材料学报2019，Vol.34Issue(12)：1279-1284,6.DOI:10.15541/jim20190102
氩离子刻蚀对TFA-MOD法YBa2Cu3O7-x 薄膜性能的影响研究
Argon Ion Etching on Property of YBa2Cu3O7-x Thin Films Prepared by TFA-MOD Process
摘要
关键词
YBCO薄膜/杂质/刻蚀/超导性能分类
化学化工引用本文复制引用
罗志永,廖楚剑,蔡传兵,刘志勇,李敏娟,鲁玉明..氩离子刻蚀对TFA-MOD法YBa2Cu3O7-x 薄膜性能的影响研究[J].无机材料学报,2019,34(12):1279-1284,6.基金项目
国家重点研发计划(2016YFF0101701) （2016YFF0101701）
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国家自然科学基金(51572165, 11174193 ) （51572165, 11174193 ）
