|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|无机材料学报|多层介质膜脉宽压缩光栅清洗方法研究

多层介质膜脉宽压缩光栅清洗方法研究

邹溪 晋云霞 孔钒宇 王勇禄 张益彬 邵建达

无机材料学报2019，Vol.34Issue(12)：1285-1289,5.
✕
无机材料学报2019，Vol.34Issue(12)：1285-1289,5.DOI:10.15541/jim20190054

多层介质膜脉宽压缩光栅清洗方法研究

Cleaning Methods for Multilayer Dielectric Pulse Compression Gratings

邹溪 1晋云霞 2孔钒宇 3王勇禄 4张益彬 1邵建达2

作者信息

  • 1. 中国科学院上海光学精密机械研究所,薄膜光学实验室,上海 201800
  • 2. 中国科学院强激光材料重点实验室,上海 201800
  • 3. 中国科学院大学材料与光电研究中心,北京 100049
  • 4. 上海科技大学物质科学与技术学院,上海 201210
  • 折叠

摘要

关键词

多层介质膜/脉宽压缩光栅/氧等离子体/SPM/HPM

分类

机械制造

引用本文复制引用

邹溪,晋云霞,孔钒宇,王勇禄,张益彬,邵建达..多层介质膜脉宽压缩光栅清洗方法研究[J].无机材料学报,2019,34(12):1285-1289,5.

基金项目

国家自然科学基金重点项目(11604352,61875212) （11604352,61875212）

上海市科学技术委员会(16JC1420600) （16JC1420600）

无机材料学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-324X

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文