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氮化铝声表面波器件表面微液滴的声表面波操控研究

庞华锋 顾马龙 李百宏

西安科技大学学报2019,Vol.39Issue(6):1090-1096,7.
西安科技大学学报2019,Vol.39Issue(6):1090-1096,7.DOI:10.13800/j.cnki.xakjdxxb.2019.0623

氮化铝声表面波器件表面微液滴的声表面波操控研究

Microdroplets manipulation using surface acoustic waves on the hydrophobic surface of AIN-based devices

庞华锋 1顾马龙 1李百宏1

作者信息

  • 1. 西安科技大学理学院,陕西西安710054
  • 折叠

摘要

关键词

微流体/声学操控/氮化铝薄膜/声表面波器件

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

庞华锋,顾马龙,李百宏..氮化铝声表面波器件表面微液滴的声表面波操控研究[J].西安科技大学学报,2019,39(6):1090-1096,7.

基金项目

国家自然科学基金(11504291,11504292) (11504291,11504292)

西安科技大学培育基金(201343) (201343)

西安科技大学学报

OA北大核心CSTPCD

1672-9315

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