液晶与显示2019，Vol.34Issue(12)：1161-1165,5.DOI:10.3788/YJYXS20193412.1161
TFT-LCD行业显影液参数对半色调光刻胶膜厚的影响
Effect of TFT-LCD developer parameters on halftone thickness
陈国 1韩亚军 1于洪禄 1丁振勇 1王鹏 1郑铁元 1李伟1
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- 1. 北京京东方显示技术有限公司,北京100176
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摘要
关键词
显影液/浓度/酸根离子/半色调膜厚/波动分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
陈国,韩亚军,于洪禄,丁振勇,王鹏,郑铁元,李伟..TFT-LCD行业显影液参数对半色调光刻胶膜厚的影响[J].液晶与显示,2019,34(12):1161-1165,5.
