材料科学与工程学报2020，Vol.38Issue(1)：59-63,5.DOI:10.14136/j.cnki.issn1673-2812.2020.01.012
硅基石墨烯纳米墙的制备及其湿度传感器的应用
Synthesis of Vertical Graphene Nanowalls on Silicon for Humidity Sensing Application
摘要
关键词
石墨烯纳米墙/等离子体增强气相沉积(PECVD)/湿度传感器分类
化学化工引用本文复制引用
张楠,李久荣,向鹏程,胡绪瑞,陈达,王刚..硅基石墨烯纳米墙的制备及其湿度传感器的应用[J].材料科学与工程学报,2020,38(1):59-63,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(61604084,11704204,51602056) （61604084,11704204,51602056）
