金刚石与磨料磨具工程2020,Vol.40Issue(1):34-38,5.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2020.1.0005
ECR微波等离子体对单晶金刚石表面的碳纳米墙修饰
Carbon nanowalls modifying single crystal diamond surface by ECR microwave plasma
摘要
关键词
ECR微波等离子体/单晶金刚石/碳纳米墙修饰分类
数理科学引用本文复制引用
衡凡,廖学红,曹为,付秋明,许传波,赵洪阳,马志斌..ECR微波等离子体对单晶金刚石表面的碳纳米墙修饰[J].金刚石与磨料磨具工程,2020,40(1):34-38,5.基金项目
国家自然科学基金(批准号 11575134) (批准号 11575134)
中国电子科技集团公司第四十六研究所创新基金(CJ20150701). (CJ20150701)