金刚石与磨料磨具工程2020，Vol.40Issue(1)：74-78,5.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2020.1.0012
低压力下环保型络合剂和氧化剂对铝合金化学机械抛光的影响
Effect of environmental friendly complexing agent and oxidant on CMP of aluminium alloy under low pressure
摘要
关键词
化学机械抛光/铝合金/壳寡糖/环保/弱钝化分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
朱玉广,王永光,钮市伟,谢雨君,雷翔宇..低压力下环保型络合剂和氧化剂对铝合金化学机械抛光的影响[J].金刚石与磨料磨具工程,2020,40(1):74-78,5.基金项目
国家自然科学基金面上项目(No.51775360) （No.51775360）
苏州市重点研发产业化项目(SGC201743). （SGC201743）
