山东科学Issue(1)：61-67,7.DOI:10.3976/j.issn.1002-4026.2020.01.009
多层金刚石薄膜制备工艺和应力分析研究
Research on the preparation technology and stress analysis of multilayer diamond films
摘要
关键词
热丝化学气相沉积/多层结构/金刚石薄膜/应力分析分类
通用工业技术引用本文复制引用
王宜豹,邱慧敏,张妹,郭风祥,王韶琰,盖志刚..多层金刚石薄膜制备工艺和应力分析研究[J].山东科学,2020,(1):61-67,7.基金项目
青岛市民生科技计划(17-3-3-73-nsh) （17-3-3-73-nsh）
山东省自然科学基金(ZR2017BB037) （ZR2017BB037）
山东省科学院青年基金(2018QN0040) （2018QN0040）
山东省科学院科技发展基金(科基合字(2018)第8号) （科基合字(2018）
