传感技术学报2020，Vol.33Issue(1)：57-62,6.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2020.01.011
扩散硅压力传感器长期稳定性提升试验方法研究
Study on Long-Term Stability Improvement Test Method of Diffused Silicon Pressure Sensor
摘要
关键词
微机电系统/长期稳定性/正交试验/扩散硅压力传感器/环境应力分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘帅,杜晓辉,朱敏杰,刘丹,任福琴..扩散硅压力传感器长期稳定性提升试验方法研究[J].传感技术学报,2020,33(1):57-62,6.基金项目
国家自然科学基金青年科学基金项目( 61704064) （ 61704064）
总装预先研究项目( 31513060109-2) （ 31513060109-2）
