光学精密工程2019，Vol.27Issue(12)：2571-2580,10.DOI:10.3788/OPE.20192712.2571
粘滑式压电驱动平台的复合控制
Composite control of piezo-actuated stick-slip devices
摘要
关键词
压电驱动/复合控制/微动台/主动阻尼分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
徐斯强,朱晓博,刘品宽..粘滑式压电驱动平台的复合控制[J].光学精密工程,2019,27(12):2571-2580,10.基金项目
国家科学挑战计划资助项目(No.JCKY2016212A506-0105) （No.JCKY2016212A506-0105）
国家重大专项(No.2016ZX04002007) （No.2016ZX04002007）
