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95%Ar+5%H2气氛退火对Ag/MoS2和Ag/BN/MoS2薄膜形貌和结构的影响

熊芬 姜思宇 吴隽 耿仁杰 郭才胜 祝柏林 姚亚刚 刘静

人工晶体学报2019,Vol.48Issue(12):2186-2193,8.
人工晶体学报2019,Vol.48Issue(12):2186-2193,8.

95%Ar+5%H2气氛退火对Ag/MoS2和Ag/BN/MoS2薄膜形貌和结构的影响

Effect of Annealing in 95%Ar+5%H2 on the Morphology and Structure of Ag/MoS2 and Ag/BN/MoS2 Thin Films

熊芬 1姜思宇 1吴隽 1耿仁杰 1郭才胜 2祝柏林 1姚亚刚 1刘静2

作者信息

  • 1. 武汉科技大学,省部共建耐火材料与冶金国家重点实验室,材料与冶金学院,武汉 430081
  • 2. 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,苏州 215123
  • 折叠

摘要

关键词

Ag/MoS2/Ag/BN/MoS2/连续逐层沉积/95%Ar+5%H2退火

分类

数理科学

引用本文复制引用

熊芬,姜思宇,吴隽,耿仁杰,郭才胜,祝柏林,姚亚刚,刘静..95%Ar+5%H2气氛退火对Ag/MoS2和Ag/BN/MoS2薄膜形貌和结构的影响[J].人工晶体学报,2019,48(12):2186-2193,8.

基金项目

中国科学院苏州纳米技术与仿生研究所纳米器件与应用重点实验室项目(15QT02) (15QT02)

国家自然科学基金重点项目(51522211) (51522211)

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

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