人工晶体学报2019，Vol.48Issue(12)：2201-2206,6.
射频磁控溅射不锈钢衬底AlN薄膜的制备与特性研究
Fabrication and Characterization of AlN Thin Films on Stainless Steel Substrates by RF Magnetron Sputtering
摘要
关键词
AlN薄膜/射频磁控溅射/XRD/荧光光谱/拉曼光谱分类
通用工业技术引用本文复制引用
樊志琴,陈飞跃..射频磁控溅射不锈钢衬底AlN薄膜的制备与特性研究[J].人工晶体学报,2019,48(12):2201-2206,6.
