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电介质/半导体结构样品电子束感生电流瞬态特性

李维勤 霍志胜 蒲红斌

物理学报2020,Vol.69Issue(6):17-26,10.
物理学报2020,Vol.69Issue(6):17-26,10.DOI:10.7498/aps.69.20191543

电介质/半导体结构样品电子束感生电流瞬态特性

Transient characteristics of electron beam induced current in dielectric and semiconductor sample

李维勤 1霍志胜 2蒲红斌1

作者信息

  • 1. 西安理工大学自动化与信息工程学院, 西安 710048
  • 2. 西安交通大学电子科学与技术系, 西安 710049
  • 折叠

摘要

关键词

数值模拟/电子束感生电流/俘获/输运

引用本文复制引用

李维勤,霍志胜,蒲红斌..电介质/半导体结构样品电子束感生电流瞬态特性[J].物理学报,2020,69(6):17-26,10.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:11175140)、陕西省自然科学基金(批准号:2019JM-340)和西安理工大学科研计划(批准号:2015CX030)资助的课题. (批准号:11175140)

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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