真空电子技术Issue(6)：94-97,105,5.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2019.06.15
InSb/HfO2堆栈在原位退火过程中利用同步辐射光电子能谱对元素扩散的研究
Elemental Diffusion Study of Insb/HfO2 Stacks upon in Situ Post Deposition Annealing by Synchrotron Radiation Photoemission Spectroscopy
孙勇 1王星录 1史笑然 1董红1
作者信息
- 1. 南开大学电子信息与光学工程学院,天津300350
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摘要
关键词
同步辐射光电子能谱/InSb/HfO2堆栈/原子层沉积/退火/扩散分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
孙勇,王星录,史笑然,董红..InSb/HfO2堆栈在原位退火过程中利用同步辐射光电子能谱对元素扩散的研究[J].真空电子技术,2019,(6):94-97,105,5.
