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一种双波导缝隙馈波的微波等离子体紫外灯装置设计

易倩玉 朱铧丞

真空电子技术Issue(6):102-105,4.
真空电子技术Issue(6):102-105,4.DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2019.06.17

一种双波导缝隙馈波的微波等离子体紫外灯装置设计

A Design of Microwave Plasma UV Lamp Device with Double Waveguide Slot Feeding Wave

易倩玉 1朱铧丞1

作者信息

  • 1. 四川大学电子信息学院,四川成都610065
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摘要

关键词

微波等离子体/无极紫外灯/紫外固化

分类

数理科学

引用本文复制引用

易倩玉,朱铧丞..一种双波导缝隙馈波的微波等离子体紫外灯装置设计[J].真空电子技术,2019,(6):102-105,4.

真空电子技术

1002-8935

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