中南大学学报（自然科学版）2020，Vol.51Issue(2)：367-376,10.DOI:10.11817/j.issn.1672-7207.2020.02.011
污染物对热膜式气体流量传感器精度的影响
Influence of contamination on accuracy of hot film gas flow sensor
摘要
关键词
热膜式/气体流量传感器/芯片污染/累积厚度/精度分类
机械制造引用本文复制引用
袁昌荣,孙中圣,李小宁..污染物对热膜式气体流量传感器精度的影响[J].中南大学学报（自然科学版）,2020,51(2):367-376,10.基金项目
国家自然科学基金资助项目(51475242) （51475242）
