表面技术2020，Vol.49Issue(3)：141-147,161,8.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2020.03.018
偏压对DLC薄膜结构及摩擦学性能的影响
Effect of Bias on Structure and Tribological Properties of Diamond-like Carbon Films
摘要
关键词
DLC薄膜/磁控溅射沉积/偏压/微观结构/耐磨性分类
矿业与冶金引用本文复制引用
刘长鑫,李璐璐,王少峰,杨庆祥,周野飞..偏压对DLC薄膜结构及摩擦学性能的影响[J].表面技术,2020,49(3):141-147,161,8.基金项目
国家自然科学基金(51705447,51905466) （51705447,51905466）
河北省高等学校青年拔尖人才计划(BJ2019058) （BJ2019058）
