中国光学2020，Vol.13Issue(1)：28-42,15.DOI:10.3788/CO.20201301.0028
激光等离子体13.5nm极紫外光刻光源进展
Research progress on laser-produced plasma light source for 13.5 nm extreme ultraviolet lithography
摘要
关键词
13.5 nm极紫外光刻技术/激光等离子体/极紫外光源/转换效率/光源碎屑/预脉冲激光分类
数理科学引用本文复制引用
宗楠,胡蔚敏,王志敏,王小军,张申金,薄勇,彭钦军,许祖彦..激光等离子体13.5nm极紫外光刻光源进展[J].中国光学,2020,13(1):28-42,15.基金项目
国家重点研发项目(No.2016YFB0402103) （No.2016YFB0402103）
中科院关键技术团队项目(No.GJJSTD20180004) （No.GJJSTD20180004）
国家重大科研装备研制项目(No.ZDYZ2012-2) （No.ZDYZ2012-2）
国家重大科学仪器设备开发专项(No.2012YQ120048) （No.2012YQ120048）
国家自然科学重点基金项目(No.61535013) （No.61535013）
中科院理化所所长基金(No.Y8A9021H11) （No.Y8A9021H11）
